应用/Application：适用于纳米颗粒、粉末、催化剂、纳米器件、绝缘材料、敏感材料、磁性样品、金属和合金、陶瓷、半导体、超导体、矿石等材料的高分辨成像和数据采集，包括：材料的微观形貌、元素分布、晶体性质等，如热机械处理过程、塑性变形过程、与取向关系有关的性能（成型性、磁性等）、界面性能（腐蚀、裂纹、热裂等）、相鉴定等，可对晶体的织构及取向差、晶粒尺寸及形状、晶界、亚晶及孪晶性质、相鉴定及相比、应变等进行分析。
二次电子分辨率 SE resolution ：

0.7nm @ 30kV STEM；

0.5nm @ 15kV beam deceleration；

0.9nm @ 1kV；

0.8nm @ 1kV beam deceleration；

0.8nm @ 500V beam deceleration；

能谱仪 Energy Dispersive Spectroscopy

2.2. EBSD像素分辨率最高达1244*1024，在此分辨率条件下，最大采集速度240点每秒。

2.3. EBSD最高在线采集速度优于4500点/秒，在最高速度时花样分辨率为156x88像素。

2.4. 角度分辨率可达0.05度。