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同时实现高分辨率和高速度的控制栅尺。不仅可以作为用于工作台的高速控制和皮米(pm)级精细控制的栅尺，
还可以作为用于倾斜工作台的高分辨率倾斜控制的传感器使用

最大分辨率：6.1pm，最大响应速度：5m/s

±30min的大角度允许值

配备长寿命激光二极管

与BD700组合可以获得出色的内插精度

(20℃时) ±0.5µm/30~120mm, ±1µm/170~270mm, ±3µm/320~670mm (特殊规格时为±1.5µm)
±5µm/770~970mm (特殊规格时为±3µm), ±5µm/1,070mm
±0.2µm/1,070mm 或更低 (内插盒BD700补偿时) ±50pm (使用内插盒BD700时)

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同时实现高分辨率和高速度的控制栅尺。不仅可以作为用于工作台的高速控制和皮米(pm)级精细控制的栅尺，
还可以作为用于倾斜工作台的高分辨率倾斜控制的传感器使用