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前言
选区电子衍射花样(SAEDP)的标定是透射电镜(TEM)表征中相当实用的技能之一。未经分析处理的透射电镜数据对读者来说是毫无意义的。因此,掌握这项技能对科研工作者非常有必要。最近二十来年,国内的TEM数量不断增加,硬件水平也有了质的飞跃,例如,以往用底片照相逐渐被数码CCD取代。相应地,在数据处理上,也有了一定的更新。比如可以利用DigitalMicrograph等软件测量长度、角度等。查阅了不少帖子、书籍,发现没有利用DigitalMicrograph标定的相关内容,故将此方法和步骤以一边说方法、一边解实例的形式,与大家分享,抛砖引玉,共同提高。
方法与步骤
1. 获取一张高质量的选区电子衍射花样。高质量的,即清晰可见、且具有周期性的二维点阵。如图1所示为α-Al 2 O 3 (hcp结构)的SAEDP。



图1 α-Al 2 O 3 的SAEDP


2. 选取离透射点最近的三个点,构成特征平行四边形,测量晶面间距及晶面夹角。

这些都是利用DigitalMicrograph完成的。用“StandardTools” 窗口下的直线工具(见图2中红色框)分别测量离透射点最近的三个点的距离,R 1 、R 2 、R 3 ,即图2的“Control”窗口中的L值(单位1/nm),R值为角度。特别注意,L值不是晶面间距,它的倒数才是;R值不是晶面夹角,而是与水平方向的夹角,值的范围是-90°~90°,顺时针为负,逆时针为正!晶面夹角可通过R 1 、R 2 、R 3 的角度稍作计算得到。如图3所示。

测得的数据如下:R 1 =2.839nm- 1 (-14.22°)、R 2 =2.854nm- 1 (81.87°)、R 3 =4.04nm- 1 (-55.73°)。由此计算得到:晶面间距d 1 =3.522Å、d 2 =3.504Å、d 3 =2.475Å,晶面夹角< R 1 ,R 3 >=41.51°,< R 2 , R 3 >=42.40°,< R 1 ,R 2 >=83.91°。



图2 “StandardTools”及“Control”窗口




图3 测量R 1 、R 2 、R 3 的参数



3. 对照PDF卡片中的晶面间距d值,确定所属晶面族{hkl}。
查询PDF#82-1468(如图4),R 1 和R 2 晶面间距基本相等,同属{012}晶面族,R 3 属于{110}晶面族。


图4 PDF#82-1468


4. 根据矢量和相等原则 ,确定符合条件的晶面指数(hkl);再验算测量值与晶面夹角理论值是否一致。
,恰好满足矢量和相等原则,再用六方晶系晶面夹角公式(见图5)验证夹角。



图5 六方晶系晶面夹角公式


其中a=4.7589 Å,c=12.9919Å(见图4)。晶面夹角的理论值为< R 1 ,R 3 >=< R 2 , R 3 >=43.01°,< R 1 ,R 2 >=86.01°,测量值(< R 1 , R 3 >=41.51°,< R 2 ,R 3 >=42.40°,< R 1 , R 2 >=83.91°)与理论值误差均小于5%,认为满足条件。
备注:晶面夹角与矢量和验证的先后顺序可以互换,只要各衍射斑点的指数互洽。
5. 确定晶带轴的方向。根据晶带定律: hu+kv+lw=0,u:v:w=(k 1 l 2 -k 2 l 1 ):(l 1 h 2 -l 2 h 1 ):(h 1 k 2 -h 2 k 1 )。
任选前面三个晶面中的两个,计算得到:
对于六方晶系,还可将三位数的晶面指数(晶向指数)换算成特有的四位数的六方晶系指数。具体方法不详说,换算后的结果为 ,晶带轴
6. 将标定结果标识在SAEDP上,标定完成。如图6所示。



图6 标定结果


小结
1. 本方法与以往的方法本质上没有区别,但是利用DigitalMicrograph软件使测量更便捷;
2. 由于晶体结构的对称性等原因,标定结果通常不是唯一的。只要互洽,都可认为是正确的;
3. 示例为已知物相和晶体结构的情形,若可能物相为两相及以上,甚至未知物相,情况会更加复杂,有其他的办法,不在此深入探讨;
4. 如果晶面间距数据对不上,有时会出现无法标定的情况。