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明场扫描透射电子显微镜:相衬图像(TE图像)
暗场扫描透射电子显微镜:原子序数衬度图像(Z衬度图像)
二次电子图像(SE图像)
电子衍射*
特征X射线分析和面分布(能谱分析)*
电子能量损失谱分析和面分布(EV3000)*
电子光学系统电子源
肖特基发射电子源
冷场致发射器*
照明透镜系统
2-段聚光镜镜头
球差校正仪*
六极镜头设计
2-段式电磁感应线圈
原子序数衬度收集角控制
投影镜设计
电磁图像位移
±1 µm
试片镜台样品移动
X/Y轴 = ±1 mm, Z轴 = ±0.4 mm
单轴-倾斜样品杆:±30°(标准镜头), ±18°(高分辨率镜头*)
3个离子泵,1个TMP
10
-8
Pa(电子枪), 10
-5
Pa(样品室)
图像显示个人电脑/操作系统
PC/AT兼容, Windows
®
XP
19-inch液晶显示器面板
图像帧尺寸
640 × 480, 1,280 × 960, 2,560 × 1,920 象素
快扫,慢扫(0.5至320秒/帧)
自动数据显示
记录序号,加速电压,下标尺,日期,时间